貼合前顆粒檢檢測(cè)系統(tǒng)（帶弧邊)
本系統(tǒng)包含兩個(gè)工位，第一工位:顆粒檢測(cè)工位，含3個(gè)相機(jī)（一個(gè)檢測(cè)平面區(qū)域，兩個(gè)檢測(cè)熱彎弧區(qū)域)，兩根超高亮光源（一根暗場(chǎng)，一根亮場(chǎng))。第二工位:復(fù)檢工位，含一個(gè)相機(jī)，顯微成像光學(xué)組件一套，精密滑臺(tái)一套，針對(duì)第一工位檢出缺陷進(jìn)行復(fù)檢確認(rèn)。經(jīng)過兩個(gè)工位后，根據(jù)“檢出標(biāo)準(zhǔn)”給出最終品質(zhì)判定結(jié)果。
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